آلة التلميع الميكانيكية الكيميائية هي أداة اختبار عملية تستخدم في مجالات الإلكترونيات وتكنولوجيا الاتصالات وعلوم وتكنولوجيا الطيران والفضاء
استخدم الماء منزوع الأيونات للصق رقائق السيليكون أو استخدم رقائق السيليكون الممتصة بالشفط للتلميع ، متخليًا عن الطريقة التقليدية لإزالة الشعر بالشمع ولصق رقائق السيليكون ، مما يساعد على تنظيف رقائق السيليكون بعد التلميع. 2. مع وظيفة الضغط الخلفي ، يمكنها تحسين توحيد التلميع بشكل ملحوظ. 3. مجهزة بنظام الكشف عن نقطة نهاية التلميع لمنع التلميع الزائد. بأخذ SiO2 كمثال ، WIWNU (عدم انتظام في الرقاقة) أقل من أو يساوي 3 بالمائة ، WTWNU (عدم انتظام في الرقاقة) أقل من أو يساوي 5 بالمائة ، RMS (2 0 ميكرومتر × 20 ميكرومتر) أقل من 0.4 نانومتر.
